MEMS и NEMS



В сегодняшнем мире  размеры электронных изделий и компонентов уменьшаются с каждым годом. В таких условиях MEMS (микроэлектромеханические системы) и NEMS (наноэлектромеханические системы) становятся технологическими стандартами.

Устройства уровня MEMS и NEMS обычно производятся с использованием технологий, аналогичных полупроводниковой промышленности (например, фотолитография и различные процессы осаждения). Нюанс заключается в том, что производители должны предельно внимательно относиться к погрешностям, вызванные большим отношением поверхности к объему этих устройств («набегающим погрешностям»). Из-за этой причины при проектировании и производстве таких устройств привычные технологии перестают работать. Также первостепенную роль начинают играть поверхностные эффекты, такие как электростатика и смачивание.

Области применения для MEMS и NEMS варьируются от экзотических до повседневных, но наиболее часто они используются для ряда «смарт»- технологий, таких как:

  • Микророботы
  • Навигационные гироскопы
  • Приводы и кантилеверы
  • «Умная пыль» для изучения изменений окружающей среды
  • Манометры и датчики расхода (потока) воздуха
  • Тормозные датчики
  • Акселерометры для улучшенного развертывания подушки безопасности
  • Микрофорсунки для прямого распыления в струйных принтерах

Несмотря на резко отличающиеся области применения, каждая из этих технологий имеет общие методы производства. Также схожими являются процессы контроля качества. К примеру, для выявления причин брака в производстве используются световая микроскопия высокого разрешения и стереомикроскопы. Для автоматизированных измерений используются видеоизмерительные системы. Современные измерительные микроскопы используются для широкого спектра аналитических методик, таких как темное поле, методик ДИК, поляризация, эпи-флуоресценция и двулучевая интерферометрия.

Все чаще для контроля качества в системах MEMS и NEMS применяются видеоизмерительные системы. Причина кроется в их исключительно высокой точности, внушительной производительности и легкости настройки под конкретные требования заказчика в широком спектре приложений.

Ключевые методы и инструменты:

- стереомикроскопы: Nikon SMZ745, SMZ800, SMZ18, SMZ25;

- прямые микроскопы Nikon LV150N, LV100N;

- инвертированные микроскопы: Nikon MA100N, MA200;

- инспекционные микроскопы Nikon L200N, L300N, MULTIZOOM AZ100;

- видеоизмерительные системы: iNexiv VMA2520, VMA4540, VMA6555, Nexiv VMZ-R/VMR;

- цифровые микроскопы Shuttle Pix, Inspectis;

- программное обеспечение E-max, NIS-Elements;

- измерительные микроскопы: Nikon MM200, MM400, MM800.